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真空气氛管式炉又称真空管式气氛炉、管式马弗炉,是一种实验电炉,常用于化学气相沉积、真空烧结等领域。其炉管材质有多种选择,如刚玉管、石英管、高温陶瓷管等。该设备常采用智能化控制系统,可以实现精确控温、自动进气和排气等功能
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